114-09-03
試量產線與檢測平台
•資源簡介:
1.次微米感測晶片試量產線提供多樣感測器與AI用感測晶片邊緣裝置試製及試量產服務。
2.先進半導體後製程試產線,為12吋BEOL製程平台,提供光罩共乘及支援前瞻技術研發(先進記憶體、氧化物電晶體、矽光子、量子元件)
3.3DIC異質整合封裝平台,鏈結BEOL製程共平台整合,支援前瞻技術研發所需先進封裝(氧化物電晶體、CPO光互連)
4.高精密檢量測平台,為國內最高規格半導體檢測平台,與檢測公司、半導體產業合作,提供製程高精準檢測解決方案與服務。
•指導單位 : 經濟部技術司
•主辦單位 : 工研院
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