•資源簡介:
1. 次微米感測晶片試量產線提供多樣感測器與AI用感測晶片邊緣裝置試製及試量產服務。
2. 先進半導體後製程試產線，為12吋BEOL製程平台，提供光罩共乘及支援前瞻技術研發(先進記憶體、氧化物電晶體、矽光子、量子元件)
3. 3DIC異質整合封裝平台，鏈結BEOL製程共平台整合，支援前瞻技術研發所需先進封裝(氧化物電晶體、CPO光互連)
4. 高精密檢量測平台，為國內最高規格半導體檢測平台，與檢測公司、半導體產業合作，提供製程高精準檢測解決方案與服務。

•指導單位 : 經濟部技術司

•主辦單位 : 工研院

•資源類型 : 服務平台

•服務對象 : 學界/業界

•申請時間 : 24小時線上登記

•申請方式 : 於「全台半導體資源共享平台」(網址https://scrs.tsri.org.tw/)線上登記，由專人聯絡

•資料來源 : 工研院

相關連結：全台半導體資源共享平台https://scrs.tsri.org.tw/