•資源簡介:
本專案計畫旨在落實半導體設備國產化並強化自主研發能力，聚焦於「前段製程」、「3DIC先進封裝」及「矽基檢測」三大核心設備領域，鼓勵學研界組成跨領域團隊，針對關鍵元件、次系統及模擬平台進行深度開發。申請團隊必須與國內設備商或法人單位合作，利用既有機台進行技術驗證，目標在於研發出具備國際競爭力的國產設備關鍵技術，進而完善我國半導體產業鏈的自主供應體系。

•主辦單位 : 國科會工程處

•資源類型 : 研發補助

•補助對象 : 申請機構／計畫主持人資格須符合國科會補助專題研究計畫作業要點之規定

•計畫狀態 : 開放申請自公告日起至115年2月25日止

•資料來源 : 先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫徵求公告

相關連結：國科會工程處公開徵求115年度「先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫」