一、本會115年度「先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫」自即日起受理申請，請於115年2月25日(星期三)前備函送達本會，逾期不予受理。
二、為支持國內半導體製造的設備發展，爰規劃推動本專案計畫，由機械、材料、物理化學、電機控制…等相關領域組成研究團隊，並鼓勵團隊依計畫屬性納入相關之資訊軟體或AI技術開發，針對半導體前段製程設備之關鍵元件、模組或次系統、半導體3D IC先進封裝製造測試設備、矽基半導體檢測設備等，進行關鍵技術研發，並於設備上應用整合。
三、申請機構及計畫主持人務必先行詳閱本專案計畫徵求公告(如附件)，申請機構、計畫主持人及共同主持人須符合本會補助專題研究計畫作業要點相關規定，且計畫主持人以申請一件本專案計畫為限。
四、本專案計畫全面實施線上申請，各類書表請務必至本會網站（https://www.nstc.gov.tw）進入「學術研發服務網」製作，線上申請時，請選擇「專題類-隨到隨審計畫」；計畫類別請選擇「一般策略專案計畫」，計畫歸屬請選擇「工程處」，研究型別請選擇「整合型計畫」，學門代碼請選擇「E9885半導體設備關鍵技術研發」。
五、本專案計畫未獲補助案件恕不受理申覆。
六、專案計畫徵求說明會(採視訊會議)相關資訊如下：
（一）時間：115年1月13日(星期二)下午2時
（二）視訊會議連結：https://meet.google.com/rrj-hfvu-yrt
（三）與會人員請中文註明單位及姓名登入會議
七、本專案計畫聯絡人：
（一）專案計畫召集人：陳國聲教授(國立成功大學機械工程學系)
電話：(06) 2757575 Ext. 62192 e-mail：kschen@mail.ncku.edu.tw
（二）專案計畫承辦人：蔡明倫助理研究員(國科會工程處)
電話：(02) 2737-7390 e-mail：mltsai@nstc.gov.tw
（三）有關線上申請系統操作問題，請洽國科會資訊系統服務專線
電話：0800-212-058、(02) 2737-7590、2737-7591、2737-7592
e-mail：misservice@nstc.gov.tw

資料來源：國科會