國科會晶創臺灣方案支持「半導體學院重點設備建置專案計畫」，台大於卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，設有無塵室與量測設備，支持8奈米晶圓製程，提供學生與研究團隊從元件製作、製程開發到分析驗證，得以測試研究構想，並開放各校申請使用。

國科會計畫辦公室召集人武東星表示，過去全國各大學執行半導體研究多感嘆設備跟不上時代，於是國科會透過晶創臺灣方案支持，於大專校院建置60台設備，分別設置於台大、成大、中山大學等校，台大更是重點支持半導體學院之一，於校內建置11台設備。全台大專校院教授與師生團隊，只要想從事半導體研究，都可以透過網站申請。

重點設備建置計畫主持人陳建甫則說明，國科會投入約3億經費，校方挹注1億，於卓越研究大樓內設置無塵室與量測設備，先進設備支持8寸晶圓製程，製程類型包括精密微影、薄膜沈積、乾式蝕刻與量測分析，學生甚至可於技術上做出二奈米元件。但台大設備非商業量產型，是提供研究前期就能將概念實體化，實現元件從無到有，都能自己操作。

陳建甫說，國科會也希望藉由建置設備，提升訓練、研究、教育人數，以此培育下一世代的半導體人才。台大配合也開設半導體製程與元件實作教學課程，課程涵蓋技術原理、設備操作、半導體元件實作，學生能親自進入無塵室使用設備，目前1年約180名學生參與，課程也結合業界，了解知識原理也能契合產業發展。

另外，半導體學院重點設備建置計畫研究成果，包含台大物理系特聘教授邱雅萍團隊「臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術」，已發表於Nature期刊。

邱雅萍說，技術能在半導體元件實際通電運作狀態下，以原子級空間解析度，直接量測金屬與半導體接觸邊緣的電子傳輸行為；重點科技學院教授李敏鴻團隊則開發氧化鉿鋯奈米電容，整合能量儲存、廢熱發電與晶片主動冷卻，於無空氣的狀況下也能帶走熱能，提供新的晶片能源管理方案。

台大重點科技研究學院院長吳志毅則說，台大也與美國賓州大學（UPenn）共同設立半導體研究中心，與業界產學合作總金額更達8400萬，合作企業包括台積電、力積電、群創等，希望強化人才培育、技術傳承，也能拓展國際與業界合作，建立網絡。

資料來源：聯合新聞