隨著半導體製程邁入次奈米(Å)世代，全球半導體研發競速已進入「原子等級」的極限挑戰。目前國內半導體相關學研單位的基礎設施能量過於老舊，較難滿足先進半導體技術研發及高階人才培育的需求，面臨著研究環境與產業尖端技術有落差的考驗。

國科會於113年起推動「半導體學院重點設備建置計畫」，投入資源補助國內七大半導體學院(註1)，透過汰換或新購來升級現有半導體相關軟硬體設施，提升該區域的教學及研究量能，賦予高等教育在半導體研究上進行更前瞻的人才培育，並經由實作場域孕育下世代創新科研技術。

計畫執行迄今，國科會與國研院台灣半導體中心(TSRI)攜手合作，以TSRI為中心樞紐串接國內七大半導體學院，依區域性產業特色，建立具各校特色的研究型設備規劃，涵蓋先進製程、矽光子、先進封裝、化合物半導體及廠務支援等領域，逐步完善臺灣半導體共用核心設備與網脈。其中臺灣大學與陽明交大均在既有的無塵室大樓內進行新增半導體重點設備之設置或汰換，其他學院則因本計畫重點設備之需求進行無塵室設施的全新建置。例如，清華大學購置「焦離子束電子束掃描式微結構製造系統」，以尖端微奈米級加工與高解析成像技術，強化前瞻半導體研發能量；中山大學打造大南方半導體聯合實驗室，設置三大技術平台，涵蓋創新半導體製造與封裝、元件特性量測、次世代封裝材料分析，成為南臺灣先進半導體研發與人才培育的核心引擎。

為促進設備資源共享與跨校合作，已完成建置半導體學院重點設備共享及預約管理系統，114年1月正式開放全台學術機構預約使用，開放設備累計達22項、訓練半導體人才設備使用累計達1,890人次。目前新規劃建置全台半導體資源共享服務入口網站，提供全臺灣完整的半導體相關設備與服務資訊，進而完善資源共享與服務。此外，各半導體學院持續透過設備資源推廣說明會、跨校交流分享會等活動，強化跨校教學與研究合作能量，計畫成效顯著，將成為台灣高階半導體研發的關鍵推動力。

註1：本計畫目前補助之七大半導體學院包括：
(1) 國立臺灣大學重點科技研究學院
(2) 國立清華大學半導體研究學院
(3) 國立陽明交通大學產學創新研究學院
(4) 國立成功大學智慧半導體暨永續製造學院
(5) 國立中山大學半導體及重點科技研究學院
(6) 國立臺灣科技大學重點科技研究學院
(7) 國立臺北科技大學前瞻技術研究總部

資料來源：國家科學及技術委員會